實(shí)驗(yàn)室設(shè)備特氣廢氣處理：可燃性、毒性氣體無害化的處理設(shè)備；分為燃燒式、加熱分解式、濕式、觸媒式等離子、分解式、吸著式等。

一．主要特點(diǎn)

1. 獨(dú)立燃燒方式，完全燃燒的火焰渦流：可燃性毒性氣體從低濃度至100%濃度均可用高溫處理；

2. SiH4與NF3、NO2同時(shí)燃燒：SiH4與NF3、NO2可以同時(shí)于燃燒室中一起 燃燒；

3. 基本功能的安全設(shè)計(jì)：異常情況發(fā)生時(shí)，診斷機(jī)能會自動安全處理；

4. 使用刮刀方式，粉塵處理容易：燃燒室內(nèi)部的附著粉塵，可使用獨(dú)立的刮刀容易且確實(shí)地清除；

5. H2、LPG、天然瓦斯(LPG)各種型式：燃料氣體可使用H2、LPG、天然瓦斯(LPG)3 種型式；

6. 保養(yǎng)簡單：保養(yǎng)可在極短的時(shí)間內(nèi)完成，費(fèi)用也低廉；

7. 高信賴性：構(gòu)造簡單且零件數(shù)少，值得高度信賴。

二．處理氣體種類

可處理氣體種類包括半導(dǎo)體、液晶以及太陽能等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中使用的特氣，主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。